뉴 메가플렉스

뉴 메가플렉스

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진공 이중 용해재 사용 플렉시블 튜브(flexible tube)

최근, 반도체에 있어서 고집적화는 현저하게、64MDRAM의 양산체제 확립을 계속 256MDRAM의샘플 출하도 시작, 더욱이1GDRAM의 시작도 전해지고 있습니다. 이에따라, 반도체 제조장치의 클린화의 요구도 상당히 엄격해지고 있습니다.특히 프로세스가스의 배관계에 있어서는,클린도의 향상을 목적으로서진공 이중 용해 슈퍼 클린 파이프의 사용이증가하고 있습니다.

반도체 업계에서 오랜시간 절대적인 신뢰와 실적을얻고있던, 내면연구 플렉시블 튜브(flexible tube)（상품명：메가 플렉스)도 상기업계의 요구에 응할 수있도록、메가 플렉스(mega flex)의 차세대 상품으로서파이프 쇠장식에 극저Mn의 진공 이중 용해재를 사용한뉴 메가 플렉스(new mega flex)를 신개발 했습니다.

【튜브 내면 커트 사진】

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특징

■파이프 쇠장식에 극저極低Mn 진공 이중 용해재를 사용하고 있기 때문에、

파이프와의 용접부의 내식성이 상당히 좋습니다.
■내면조도：Rmax0.7 미크론 이하
■클린 룸 내 정밀세정품

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표준사양

재　　질：튜브　　SUS 316L
　　　　　 파이프 쇠장식　SUS 316L（진공 이중 용해재）
사용압력：MAX.0.5MPa（5kgf/cm²）~ 초고진공
허용리크량：1.33×10^-10 Pa・m³/s （1×10^-9Torr.l/s）以下

(UNIT:mm)

구경	형번	I.D	O.D	D	d	l	L	최소 곡선반경
1/4"	ORV-8PM-20DM	5.5	8.5	6.35	4.5	20	200	30
	ORV-8PM-30DM						300
	ORV-8PM-40DM						400
3/8"	ORV-10PM-20DM	10.0	13.5	9.52	7.4	25	200	45
	ORV-10PM-30DM						300
	ORV-10PM-40DM						400

http://www.ork.co.jp/index.htm->오사카 라센칸 공업(Osaka rasenkan)

일본 홈페이지 입니다.

 

http://www.daeyoung-inst.co.kr/

 

 

 

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